研磨布固定用両面テープ

研磨布固定用両面テープは液晶ガラス基板製造工程をはじめ、電子材料製造工程で幅広く使用されている両面テープです。
接着信頼性に優れますが、使用後は容易に再剥離可能です。

シングルセパレータタイプ
ダブルセパレータタイプ

特長

  • フィルム基材を使用しているため、再剥離が可能です。
  • 最大2450mm幅まで対応可能です。
  • ダブルセパレータタイプは、粘着剤面の平滑性に優れます。
  • お客様のご要望に沿った製品仕様を開発いたします。

用途

  • 液晶ガラス基板のポリッシングパッド、パッキングフィルム固定
  • シリコンウェハ、ハードディスク基板等のポリッシングパッド固定
  • CMPパッド固定
  • ラビングクロス固定など
研磨布固定用両面テープの役割

特性

一般物性

項目 感圧型 感熱型
一般
タイプ
ディファレンシャル
タイプ
ディファレンシャル
タイプ
テープ厚み(μm) 130 108 138
粘着力(N/25mm)
(SUS、23℃)
強粘着面 6 12 30
弱粘着面 5 6 20
粘着剤 アクリル系 アクリル系 アクリル系
基材 OPP PET PET
ライナー シングルセパ ダブルセパ シングルセパ
ダブルセパ
紙/フィルム 紙/フィルム
用途例 シリコンウェハ研磨 CMP
ハードディスク基板研磨
CMP
液晶ガラス基板研磨
  • 粘着力の測定方法はJIS Z 0237に準拠。
  • 記載の数値は、測定値の一例であり、保証値ではありません。