UBMめっき保護用自己剥離テープ SELFA-MP

UBMめっき保護用自己剥離テープ SELFA-MP

SELFA-MP

めっき工程時の裏面保護用テープです。UV照射によりガスが発生することで、被着体から剥離することができます。

特長

  • UV自己剥離機能により、めっき後でも簡単に剥離することが可能です。
SELFAと一般UVテープの比較

用途

■UBMめっき工程時のウェハ裏面保護

UBMめっき工程時のウェハ裏面保護の図

用途例

  • UBMめっきプロセスへの適用
  • 前処理(アルカリ溶液・・PH9)
  • ポスト処理(強酸、強アルカリ)
  • 金属めっき処理(Ni,Auなど)

特性

一般物性

項目 単位
テープ厚み 基材 25μm
粘着剤 30μm
項目 単位 SUS シリコンウェハ 金めっき
粘着力 初期 N/25mm 15.5 14.1 10.5
UV照射後 0 0 0

接着力:180°ピール 300mm/min  UV 照射:3000mJ/cm2

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